伴伴伴

旺宏電子 晶圓製造一廠 圈 圈 圈 成 果 發 @發表團隊 旺宏電子晶圓一廠黃光工程部 @圈成立時間 八十九年四月一日 旺宏電子 (股) 公司 一、 成立日期：78/12 二、董事長：吳敏求 總經理：吳敏求 三、資本額：655億 四、員工：3,500人 五、主要產品：Mask ROM (罩幕式記憶體) Flash (快閃記憶體) EPROM (抹除式唯讀記憶體) Logic (邏輯產品) 六、經營理念：實在 (腳踏實地，實事求是，知行合一，遵守紀律) 七、價值觀：創新、品質、效率、服務、團隊 八、願景：在當今或未來，旺宏電子矢志成為半導體產業的領導供應廠商，以精湛的技術、 最高的品質與可靠的服務，為電腦、通訊與消費性電子領域客戶，提供創新的客 戶 / 應用導向解決與非揮發性記憶體產品。 九、品質政策：1. 提供客戶滿意的高品質服務及產品，建立旺宏是可信賴的 Integrated Solutions Provider形象於國際市場上。 2. 讓旺宏以品質為基礎，達到永續經營。 3. 並使全體員工在追求品質過程中共同成長，共享成就。 公 司 簡 介 圈介紹 旺宏電子( 股份 )公司 所屬單位：晶圓一廠黃光工程部 圈成立時間：89.04.01 輔導員：宋書漢 幹事: 曾德能 圈員：陳進忠，劉得鑑，黃家豪，朱健維，陳世芳，鍾宇狄 本圈介紹本圈介紹 92年並代表公司榮獲北區區會長獎 93年並代表公司榮獲北區區會長獎 我們的收藏: 91年Fab1第2名 全公司第3名 92年Fab1第2名 全公司第1名 93年全國競賽榮獲“銅塔獎” 93年Fab1第1名 全公司第1名 94年Fab1第2名 全公司第1名 黃光的工作黃光的工作 上光阻 (裝底片) 曝光 (按快門) 顯影 (沖洗底片) 上期活動成果上期活動成果追蹤上期活動成果追蹤 Photo每月Rework Rate 9.9 9.9 10.36 6.85 5.34 6.17 2.34 0.32 2.48 0.48 2.18 0.99 1.33 0.78 1.32 1.53 0.56 0.61 0.54 0.45 0.55 0.42 0.47 0.55 0.62 0.81 0.57 0.50 0.33 0.470 2 4 6 8 10 12 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 月份 R e w o r k R a t e 改善中 改善後 效果維持良好改善前 2004Y~2005Y2003Y 上期活動題目:降低38A9光阻覆蓋不良重工率 ★品質的改善與有效的維持是本圈一直努力之目標 8.47% 0.85% 選定主題 5.權值:票數等同權值 表決方式 1.部門方針,由部門weekly meeting 表決,leader 以上(8人),表決決定 2.重要性,急迫性,圈能力 ,達成性,由圈員表決決定 3.每人依程度給於6~1 分數,成績加總最高為選定題目 4.若名次一樣,再針對相同名次表決 部門方針 重要性 急迫性 圈能力 達成性 總分 名次 降低38A9光阻的使用量 39 33 27 25 20 144 1 降低光罩送修片數 24 24 34 19 18 119 3 降低canon曝光機對準不良 39 23 23 16 21 122 2 增加canon曝光機光源強度 17 9 10 16 20 72 6 降低光阻更換失敗率 23 22 17 27 24 113 4 降低Track機台掉片頻率 26 15 15 23 23 102 5 選定主題選定主題 本次活動主題選定為本次活動主題選定為 :: 選題理由:選題理由: 1.因38A9光阻已作過減量,且目前已 為同業中用量最低,然因配合公司 Cost Down政策,因此我們接受新 挑戰,希望可以在用量上更為節省 2.38A9為本廠最大宗之重要層使用 光阻,且每月在使用量上佔很大之 比例 AVG領用比較 142.4 68 36 26.4 34.4 20.8 6 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 4300 38A9 IX950 IX1060 PFR7000 26A 29B8 光阻 瓶 每月68瓶 1-5月平均光阻COST 116 84 43 36 33 26 9 0 20 40 60 80 100 120 140 4300 38A9 IX950 IX1060 PFR7000 26A 29B8 光阻 萬 元 每月 84萬 QC STORY 課題達成型 問題解決型 1.以前未曾有過經驗，首次面臨 的工作欲順利完成（新規業務的 因應） 30 14 1.欲解決原來已在實施的工作中之 問題 2.欲大幅度打破現況（現況打 30 18 2.欲維持、提升現況水準 3.欲挑戰魅力的品質，魅力性水 準（魅力性品質的創造） 22 14 3.欲確保當然品質、當然水準 4.欲提前對應可預見的課題 18 20 4.欲防止再發生已出現的問題 5.透過方案、idea的追究與實施 可達成標的 22 20 5.透過問題的原因究明與消除原因 ，可獲得解決 判定結果 122 86 判定結果 關係程度 （關係程度（三段評價）：大=5；中=3；小=1） 判定結果:依課題達成型方式,解決38A9光阻使用量 過高問題 課題達成型課題達成型QC STORYQC STORY進行進行 QC STORY 判定QC STORY 判定 活動計劃表 ----- 表示計畫線， 表示實施線 活動計劃表活動計劃表 WHAT WHERE HOW 主席 記錄 活動項目 /週 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 主題選定 進忠 健維 M402 L型矩陣圖 活動計劃擬訂 得鑑 進忠 M204 甘特圖 課題明確化 進忠 家豪 M204 L型矩陣圖 目標設定 家豪 健維 M402 直方圖 方策擬訂 健維 宇狄 M402 L型矩陣圖 最適策追究 宇狄 世芳 M402 L型矩陣圖 對策實施與檢討 世芳 得鑑 M402 L型矩陣圖、 直方圖 效果確認 得鑑 進忠 M402 推移圖、雷達 圖 標準化 進忠 家豪 M402 檢討與改進 家豪 健維 M402 公司發表 WHO 七月 八月 九月 十月 十一月 十二月 WHEN 方策擬定及最適策追究因生產線上產能需求,人力調配,順延一週 效果確認部份因需配合製造部產能報表及SAP領料系統以月份結案 課題明確化 一、光阻使用量現況掌握 課題明確化課題明確化 所有光阻1-5月平均花費 116 84 43 36 33 26 9 0 20 40 60 80 100 120 140 4300 38A9 IX950 IX1060 PFR7000 26A 29B8 光阻 萬 元 所有光阻1-5月平均領用比較 142.4 68 36 26.4 34.4 20.8 6 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 4300 38A9 IX950 IX1060 PFR7000 26A 29B8 光阻 瓶 每月 84萬 每月 68瓶 1.38A9光阻平均每月領用68瓶。 2.38A9光阻平均每月花費84萬。 光阻管路圖 二、光阻使用管路流程簡介 課題明確化課題明確化 (氮氣) 光阻瓶 逆止閥 CDA 1.紅色線為光阻所流經之管路。 2.藍色圈為光阻可能殘留或流出之浪費處。 明確攻堅點 三、明確攻堅點 課題明確化課題明確化 題目 把握項目 現況 期望水準 望差值 候選攻堅點 消除望差的 可能性 工作場所因 應狀況 前後工程配 合狀況 總分評價 攻堅點可行 性判定 光阻瓶內殘 留浪費 機台Alarm 即更換 機台Alarm 即更換,但光 阻瓶內無殘 留 一滴不漏 光阻瓶內無殘留 16 17 14 47 O Buffer air vent 浪費 Air vent 至氣 泡排出 bubble purge 完即切斷air 減少非必要 浪費 減少air vent 浪費 15 16 12 44 O filter 端drain 浪費 trouble shooting 排 氣泡 限定每次僅 能purge 20 次 減少trouble shooting 浪 費 固定purge 次 數 15 10 6 31 X wafer 端浪費 9000 scesdummy 一次 not dummy 一天省12 CC No dummy 6 12 10 28 X 更換Filter 浪 費 3 month 更換 一次filter 一年更換一 次(branch marking ) 差四倍 一年換一次 17 16 13 46 O 說明：1.評價圈員6員，每單項最高18分，總分評價最高54分。 2.總分評價43分(54 X 80%)以上採用為攻堅點。 1分/人 圈員認定49 %以下可行 不可變更 無法配合 2分/人 圈員認定50 ~ 89 %以上可行 可變更但不易執行 不易配合 降 低 38A9光 阻 的 使 用 量 前後工程配合狀況 3分/人 圈員認定90 %以上可行 可變更 可配合 評價基準 消除望差的可能性 工廠因應狀況 目標設定 光阻用量VS 設定用量比較 1.927 1.557 1.582 1.558 1.495 1.664 1.352 1.20 1.30 1.40 1.50 1.60 1.70 1.80 1.90 2.00 IX1060(瓶) IX950(瓶) 107 USE(瓶) 26A(瓶) 29B8(瓶) 38A9(瓶) 4300N(瓶) 光阻 倍率 目標設定目標設定 實際使用量 / 設定使用量=倍率 1.977 / 1.2 = 1.664 Æ 38A9光阻 2.028 / 1.5 = 1.352 Æ最低倍率 所有光阻平均使用之倍率為1.59 38A9 Wafer 使用量 與實際單位Wafer 使用量差異 最低Wafer 使用量 與實際單位Wafer 使用量差異 倍率 1.664 1.352 1.000 1.200 1.400 1.600 1.800 由1.664降至1.352 倍,挑戰減少 , 挑戰最低光阻使用量。 因目前所有測機均使用38A9光阻，而所有光阻 平均使用之倍率為1.59，標竿學習及自我挑戰， 因此直接挑戰最低光阻使用量。 18.75% 4300 光阻 38A9 光阻 方策擬定方策擬定方策擬定 活動題目 攻堅點 方案 可行性 預期效果 花費金額 綜合評估 決定最適方案 1.製作量具:考量Cost down 預算問題及容易造成光阻污染不採用 2. Purge 氣泡時之光阻回收再使用:由於需更改管路設計由於需更改管路設計,,且需重新估算且需重新估算 良率情形良率情形,,約需約需 6~106~10個月個月,,需編列預算及上級同意需編列預算及上級同意 3.新增一sensor detect 無bubble 即關閉air vent 考量 cost down及機台內部空間問題 無法裝設 修改OI內TA更換光阻 SOP 18 11 18 47 O 統一光阻平內光阻管長度, 至光阻瓶底部 18 12 17 47 O 週期性泡管時更換下來之 光阻再使用 14 13 18 45 O 製作一量具,為光阻是否棄 置標準 11 7 7 25 X Purge 氣泡時之光阻回收 再使用 8 15 6 29 X 新增一sensor detect 無 bubble 即關閉air vent 10 14 6 30 X 將逆止閥 統一至靠近 buffer tank 位置 17 9 17 43 O 針對每一機台管路長短不 一,調整Air vent 時間 16 12 16 44 O 變更逆止閥為auto detect value , 無氣泡即行關閉 8 13 8 29 X 一年換一次filter 一年換一次filter 17 14 18 49 O 評價基準 3分/人 2分/人 1分/人 降 低 38A9光 阻 的 使 用 量 光阻瓶內無殘留 減少air vent 浪費 圈員認定49 %以下可行 圈員認定90 %以上可行 圈員認定50 ~ 89 %以上可行 可變更但不易執行 不易配合 2.總分評價43分(54 X 80%)以上採用為最適方案 。 說明：1.評價圈員6員，每單項最高18分，總分評價最高54分。 不可變更 無法配合 消除望差的可能性 工廠因應狀況 前後工程配合狀況 可配合可變更 最適策追究最適策追究最適策追究 最適策 預期障礙 克服方法 排除可能 預期效果 預計完成日 負責人 修改OI內TA更換光阻 SOP NO 無需要 O 所有人更換手法統一 9月15日 劉得鑑 統一光阻瓶內光阻管長 度, 至光阻瓶底部 修改時工安異味 保養時間執行,影響最小 O 光阻浪費降至最低 9月7日 鍾宇狄 週期性泡管時更換下來 之光阻再使用 光阻瓶口裸露，有 particle issue 以EBR乾淨之瓶蓋封住瓶口,確 保品質 O 泡管無光阻浪費 9月25日 鍾宇狄 將逆止閥 統一至buffer tank上方之位置 修改時工安異味 使用ES 管路抽氣 O 無purge bubble 操作問題 9月30日 朱健維 針對每一機台管路長短 不一,調整Air vent 時間 統計分析人員時間/產 能 保養時間執行,影響最小 O Purge 氣泡無光阻浪費 9月15日 黃家豪 一年換一次filter Quality 考量 PM1 Trace particle data △ 節省泡管光阻浪費 9月30日 陳進忠 O :可自主決定 △:需主管認同 X:不可行 最適策追究一 2.實施經過 (1)因之前SOP為文字敘述，容易造成理解上之誤差，故 修改SOP新增圖示定義，以明確更換光阻之手法。 (2)並於9月15日前完成四個班別重新training，更換光阻 手法。 最適策實施一 修改OI內TA更換光阻SOP 最適策實施一 修改OI內TA更換光阻SOP 1.現況說明 (1)TA 對於更換光阻時該檢查item 不清楚，此時容易造成氣泡沒有完全排除，進而重複 purge，如此造成光阻之浪費。 DA DB NA NB TOTAL 所佔比率 手法清楚 12 12 9 11 44 0.73 手法不清楚 2 2 9 3 16 0.27 Track Replace Resist Bottle 手法Align Check Item Summary 27 0 0 10 20 30 對策前 對策後 對策前後手法不清楚比較圖 Improve 27 % Idea: 善用愚巧法 ,新增圖片 說明 3.效果確認 (1)於9月21日至9月24日分別抽測各班TA更換手法，均 能正確follow SOP更換光阻，以避免重複purge造成 光阻浪費。 最適策追究二 1.現況說明 (1)瓶內管路長度不足,造成光阻瓶更換時殘留光阻液,造成浪費。 最適策實施二 統一光阻瓶內光阻管長度, 至光阻瓶底部 最適策實施二 統一光阻瓶內光阻管長度, 至光阻瓶底部 Idea: 用小吸管喝700cc飲料 喝不到底部 (改用長吸管) NG : 需更改 管長之機台 2.實施經過 (1)經量測得知，當瓶內管長為28公分時剛好可接觸到瓶底，而此時換下之光阻 瓶所殘留之光阻約不到20cc。 (2)丈量所有機台之瓶內管長，發現有三台機台之管長不夠，量測其所換下之光 阻瓶發現，所剩之光阻約剩180cc左右。 MACHINE PIPING STATUS MACHINE PIPING STATUS 2-1 OK T-14 2-1 OK 2-2 OK T-16 2-1-R3 OK 1-1 NG T-17 2-1-R3 NG 1-2 OK 2-1 OK 2-1 OK 2-2 OK 2-2 NG T-23 2-1-R3 OK 2-1 OK T-24 2-1 OK 2-1 OK T-25 2-1 OK T-12 2-1 OK 2-1-R3 OK T-13 2-1 OK 2-3-R3 OK T-8 T-18 T-26 光阻瓶內管長 T-2 T-4 T-5 3.效果確認 每次更換光阻瓶所浪費之光阻 從180 c.c.降至 20 c.c. 最適策實施二 統一光阻瓶內光阻管長度, 至光阻瓶底部 最適策實施二 統一光阻瓶內光阻管長度, 至光阻瓶底部 (3)所有機台於9月7日前均已將光阻瓶內管長更改至剛好接觸至底部；並抽查9月 8日至9月20日為止，所有機台換下之光阻瓶均幾乎已無殘留。 最適策追究三 1.現況說明 (1)泡管前換下之光阻少於1/5即報廢 2.實施經過 (1)以欲清洗Solvent EBR瓶蓋擦拭乾淨後,作為38A9光阻之瓶蓋,避免污染光阻 (2)PM2更換Filter之前,即使瓶內少於1/5瓶光阻,仍需留下使用,避免浪費。 3.效果確認 最適策實施三 週期性泡管時更換下來之光阻再使用 最適策實施三 週期性泡管時更換下來之光阻再使用 Idea: 生活智慧 將未食用完之 罐頭或食物用乾淨收納盒收 藏 T-17 9月16日 1/3 繼續使用 T-18 10月18日 1/5 繼續使用 抽查兩次泡管光阻使用情況，均能繼續使用至用完為止，避免 光阻浪費，並check之後的PM1 data均合spec.。 最適策追究四 1.現況說明 (1)逆止閥位置決定air vent是否能一次將bubble趕出drain管，當逆止閥位置太遠， 就可能要數次才能排除，如此即會浪費不少光阻。 2.實施經過 MACHINE PIPING 逆止閥位 置離 buffer tank 位置 MACHINE PIPING 逆止閥位 置離 buffer tank 位置 2-1 X T-12 2-1 O 2-2 X T-13 2-1 O 1-1 X T-14 2-1 O 1-2 X T-16 2-1-R3 O 2-1 X T-17 2-1-R3 O 2-2 X 2-1 O 2-1 X 2-2 O 2-1 X T-23 2-1-R3 O T-24 2-1 O 遠:X T-25 2-1 O 近:O 2-1-R3 O 2-3-R3 OT-26 T-18 T-2 T-4 T-5 T-8 (2)於9月30日前將全部機台逆止閥更改 至buffer tank上方之位置。 3.效果確認 經驗證，現只需purge一次即能將氣泡完全排出。 最適策實施四 將逆止閥 統一至buffer tank 上方之位置 最適策實施四 將逆止閥 統一至buffer tank 上方之位置 取法馬桶兩段式沖水模式,節 省不必要浪費 (1)現況調查: 經實驗逆止閥較遠之機台，每次 purge大約二至三次才能將氣泡 完全排出。 最適策追究五 1.現況說明 (1)光阻Air vent 時間設定，每一機台均不同，如此造成光阻過度浪費。 2.實施經過 (1)依照現況分析壓力與air vent 時間統計。 0 5 10 15 20 25 30 35 40 2-1 2- 2 1- 1 1- 2 2-1 2- 2 2-1 2-1 T-2 T-4 T-5 T-8 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 TIME(sec)( BEFORE) PRESURE( KGF/CM2) 0 5 10 15 20 25 30 35 2-1 2-1 2-1 2-1- R3 2-1- R3 2-1 2-2 2-1- R3 2-1 2-1 2-1- R3 2-3- R3 T- 12 T- 13 T- 14 T- 16 T- 17 T-18 T- 23 T- 24 T- 25 T-26 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 TIME(sec) (BEFORE) PRESURE (KGF/CM2) 最適策實施五 針對每一機台管路長短不一,調整Air vent 時間 最適策實施五 針對每一機台管路長短不一,調整Air vent 時間 層別法& tool matching 3.效果確認 最適策實施五 針對每一機台管路長短不一,調整Air vent 時間 最適策實施五 針對每一機台管路長短不一,調整Air vent 時間 每次Vent 光阻使用量比較 0 50 100 150 200 250 300 350 2- 1 2-2 1-1 1-2 2- 1 2-2 2- 1 2- 1 2- 1 2- 1 2- 1 2- 1-R3 2- 1-R3 2- 1 2- 2 2- 1-R3 2- 1 2- 1 2- 1-R3 2-3- R3 T-2 T-4 T-5 T-8 T-12 T-13 T-14 T-16 T-17 T-18 T-23 T-24 T-25 T-26 Vent c.c.數 (BEFORE) Vent c.c.數 (AFTER) Air vent Align Æ10 secs 0 5 10 15 20 25 30 35 40 2- 1 2-2 1-1 1-2 2- 1 2-2 2- 1 2- 1 2- 1 2- 1 2- 1 2- 1- R3 2- 1- R3 2- 1 2- 2 2- 1- R3 2- 1 2- 1 2- 1- R3 2-3- R3 T-2 T-4 T-5 T-8 T- 12 T- 13 T- 14 T- 16 T- 17 T-18 T- 23 T- 24 T- 25 T-26 TIME(sec) (BEFORE) TIME(sec) (AFTER) (2) 在不更動N2壓力下，經實驗發現air vent 時間只需十秒即可將bubble完全排出。 最適策追究六最適策實施六 一年換一次filter 最適策實施六 一年換一次filter 1.現況說明 (1)現行做法為一季（三個月）換一次filter，當更換filter時就如同RO逆滲透純水系統更 換濾心一樣，即需大量填充光阻並排除filter內之氣泡，此時會大量浪費光阻。 2.實施經過 (1)比較友廠經驗，均每一年更換一次filter，同時配合今年部門cost down方針， 進行filter延長實驗。 3.效果確認 經由PM1測機數據發現，截至9月30日止，particle data均合spec. ，並繼續延長中。 ≦ 20 顆 38A9用量VS PM用量比較表 1.585 1.719 1.716 1.725 1.576 1.478 1.504 1.499 1.516 1.384 1.447 1.483 1.434 1.414 1.396 1.416 1.421 1.425 1.446 1.200 1.300 1.400 1.500 1.600 1.700 1.800 一月 AV G 二月 AV G 三月 AV G 四月 AV G 五月 AV G 六月 AV G 七月 AV G 八月 AV G 九月 AV G 十月 AV G 十一 月A VG 十二 月A VG 一月 AV G 二月 AV G 三月 AV G 四月 AV G 五月 AV G 六月 AV G 七月 AV G月份 倍 率 效果確認 1.414 改善後 1.499 改善中 1.664 改善前 效果確認效果確認 達成目標85.6% 成果 有形成果:1. 38A9 光阻使用量為PM用量1.664倍 (PM 用量1.2CC)Improve 至 1.414距目標1.352 達成率85.6% 2. 38A9平均使用減少　(1.664-1.414)*1.2=0.3CC /WAFER 　　　　　　Cost Down 131264*0.3=39379CC/月 (39379/3785)*12351=12.85萬 NTD/月 12.85*12=154.2萬/年 3. 93年度(66)比92年度(108)節省60顆filter, Cost Down 4500*60=27萬 效果確認效果確認 此次Qcc活動38A9光阻總共可節省 181.2萬 無形成果:1.各圈員首次嘗試使用課題達成型QCC手法,並對此手法有深刻了解。 2.各圈員會將QCC & QC手法應用在平常工作。 3.各圈員對QCC活動的積極參與積極參與,使團隊精神與工作職能有明顯的增加。 4.藉由此活動工業減廢 ,為地球環保進一份心力。 　　　　　　 標準化 1.修改OI內TA更換光阻SOP, 以明確檢查項目 OI:4010A-0200, ECN :CE3890 標準化 2.完成所有38A9機台Air Vent time 統一為10秒, 除教育工程 師更改手法外, 並列入部門知識文件庫內 MKA20-CHHWANG- 04005 3.統一所有逆止閥位置, 除教育工程師更改手法 外, 並列入部門知識文件庫內MKA20-SUGANICHU-04002 標準化 4.統一光阻瓶內管路長度, 除教育工程師更改手 法外, 並列入部門部門知識文件庫內MKA20-YTCHUNG- 04003 ((一一))本期活動檢討本期活動檢討 活動反省及今後計劃活動反省及今後計劃活動反省及今後計劃 檢討 今後努力方向 主題選定 結合廠的方針,在不影響產品的Quality考量下,持續朝著降低成本再出發 除了降低成本,思索任何可能提昇品質的挑戰 活動計劃擬訂 結合傳統圈圈圈的功力傳承,跳脫解 決問題的思考模式,進而增加產品的 魅力品質努力 將這次圈員的經驗傳承,以提昇有形無形的魅 力品質 課題明確化 圈員以不同於常使用的手法來重新檢視工作中的環境 多參加相關的QCC Training & 和不同部門交流, 以提昇課達方式的熟練度 目標設定 與第一名靠齊 秉持高工作標準邁進 方策擬訂 經圈員腦力激盪,找出任何可能得蛛絲馬跡 鼓勵圈員以天馬行空方式思考,並勇於表表達 自己的看法 最適策追究 以圈員的專業能力,及老幹新支交叉思考,排除 除固定圈會開會之外,於部門weekly meeting 提 出,也許會有不同的觀點與收穫 D 對策實施與檢討 未對每一對策區隔日期,採統一實施,統一確認 對每一對策,應有對應的確認,讓data 可以更詳 實,圈員有更多不一樣的input C 效果確認 Wafer move out 數,並未細分日期,僅以 月作為區隔單位 光阻領用與FAB 庫存量未細分日期及 庫存數,造成Data相對誤差大 Data 收集應越完整越好,以利對策實施成效比 較 A 標準化 其餘光阻未實施 2005 將持續將其餘光阻完成 P 活動狀況 殘留問題本 期 殘 留 問 題本 期 殘 留 問 題本 期 殘 留 問 題 殘留問題殘留問題：： 1.1.其餘光阻除泡管週期改為一年一次外其餘光阻除泡管週期改為一年一次外,,其餘五項對策因人力不足考量其餘五項對策因人力不足考量,, 目前仍未平行展開目前仍未平行展開 2.2.光阻光阻 Filter Filter 延長延長 一年一換計劃仍需收集測機一年一換計劃仍需收集測機DataData持續觀察持續觀察 3.3.排氣泡時之光阻為我們無可避免之浪費排氣泡時之光阻為我們無可避免之浪費,,在評估回收再使在評估回收再使 用之可行性用之可行性,,除了需更改管路設計外除了需更改管路設計外,,且要重新估算產品良且要重新估算產品良 率率,,約需約需 66~10~10個月個月,,因此此部份需上級同意才可進行因此此部份需上級同意才可進行 下次主題下次主題下次主題 部門方針 重要性 急迫性 圈能力 達成性 總分 名次 降低38A9光阻的使用量 39 33 27 25 20 144 1 降低光罩送修片數 24 24 34 19 18 119 3 降低canon曝光機對準不良 39 23 23 16 21 122 2 增加canon曝光機光源強度 17 9 10 16 20 72 6 降低光阻更換失敗率 23 22 17 27 24 113 4 降低Track機台掉片頻率 26 15 15 23 23 102 5 下次活動主題選定為 : 降低canon曝光機對準不良 光阻瓶殘留示意圖光阻瓶殘留示意圖 光阻瓶內管長不夠 造成殘留浪費 Air Vent 端光阻浪費示意圖Air Vent 端光阻浪費示意圖 光阻 由此 Air Vent 浪費 光阻由 此流入 氣泡由 此排出 Nozzle 端光阻浪費示意圖Nozzle 端光阻浪費示意圖 光阻由此 Dummy 出 浪費 Filter 端光阻浪費示意圖Filter 端光阻浪費示意圖 更換 filter 浪費 操作OI 示意圖操作OI 示意圖 修改前 修改後 光阻瓶內管長量測 改善前 改善後 光阻瓶內管長 修正 示意圖 光阻瓶內管長 修正 示意圖 Air Vent 修正示意圖Air Vent 修正示意圖 改善前 改善後 逆止閥 修正示意圖逆止閥 修正示意圖 Filter延長計畫Filter延長計畫 Air vent time調整S.O.PAir vent time調整S.O.P 逆止閥modify procedure逆止閥modify procedure 統一光阻瓶內光阻管長度, 至光阻瓶底部統一光阻瓶內光阻管長度, 至光阻瓶底部 圈介紹 上期活動成果 選定主題 QC STORY 活動計劃表 課題明確化 光阻管路圖 明確攻堅點 目標設定 方策擬定 最適策追究 最適策追究一 最適策追究二 最適策追究三 最適策追究四 最適策追究五 最適策追究六 效果確認 成果 標準化 殘留問題 下次主題