820系列气体质量流量计

820 系列气体质量流量计 SIERRA ASIA INSTRUMENTS COMPANY 100 Jiangnan Dadao, Suite2303 Guangzhou, China Fax: 020-34354872 Tel: 020-34354870 E-mail: Info@sierra-asia.com Rev.: - (0) 0308 E:\Product File\PDS\PDS C \ 820 1 of 5 820 系列气体质量流量计 820 Series Top-TrakTM 特点： z 直接质量流量监测，无需压力和温度补 偿 z 数字质量流量显示（显示板可远程安 装） z 质量流量电信号输出（可用于控制，数 据记录） z 快速的响应能力（2 秒） z 大而直的传感器管道减少了污染和维 修停用期 z 铂传感器消除了零漂，确保长期稳定 z 基本标准标定确保了起始点准确性和 NIST 可追踪性 z CE 认证 z 获中华人民共和国计量器具批准证书 （CPA） 说明： Sierra 公司设计的 820 系列 Top-TrakTM产品以 合理的安装成本来代替体积流量装置。无需在大多 数流量监测装置中所需的压力或温度校正。 流量范围从 0~10sccm 到 0~50slpm，Top-TrakTM 适用于任何清洁气体的流量测量场合。为 316 不锈钢、镀镍、尼龙塑料和“O”形橡胶密封圈 （Viton® “O”-rings），所有原料均抗腐蚀。 820 型产品直接以 sccm 或 slpm 为单位测量和 显示质量流量。显示可翻转 180º，方便读数，也可 远程安装。该还可提供 0～5VDC 或 4～20mA 的 线性输出信号（输出信号与质量流量成比例）用于 数据记录或控制。这种仪表广泛应用于各种流量检 测和实验室，测试和设备的标定。 文中资料如有变动，不另行通知。 820 系列气体质量流量计 SIERRA ASIA INSTRUMENTS COMPANY 100 Jiangnan Dadao, Suite2303 Guangzhou, China Fax: 020-34354872 Tel: 020-34354870 E-mail: Info@sierra-asia.com Rev.: - (0) 0308 E:\Product File\PDS\PDS C \ 820 2 of 5 尺寸规格 820 系列产品-侧视图 820 系列产品-出口图 820 系列产品-底部图 注：所有尺寸均以英寸为单位，折算成毫米后的结果在括号中给出。 安装尺寸 1/8 英寸 压垫式 1/4 英寸 压垫式 1/4 英寸 NPT Dim.L 5.51（140.0） 5.70（144.8） 3.50（88.9） 性能规格 精度： ±1.5 满度，在 15ºC～25℃及 5 到 60psia（0.3 到 4bara）范围内。 如果流量计是通过垂直流量通路安装的，则准确度为下所示： 操作压力 入口压力差 2 50psig 100psig 150psig ±1psig ±1.5％满度 ±1.5％满度 ±1.5％满度 ±5psig ±3.8％满度 ±4.5％满度 ±5.3％满度 ±10psig ±6％满度 ±7.5％满度 ±9％满度 注：（1）不能超过 150psig （2）入口压力与标定压力之差。不可超过±10psig. 重复性： ±0.5％满度。 温度系数： 0.08％满度每ºF（0.15％满度每ºC），或更好。 压力系数： 0.01％满度每 psi（0.15 满度每 bar），或更好。 响应时间： 时间常数 800 毫秒；6 秒到最终值的±２％以内（满 度的 25％到 100％）。 操作规格 气体： 大多数气体；检查与仪表材料的兼容性；订货时具 体指出。 质量流量： 0~10sccm 到 0~50slpm；指定的流量范围是 76 厘米 汞柱、21ºC（70ºF）下的氮气对应流量范围；用其 他单位表示的流量范围也可提供（即：scfh 或 nm3/h）。 气体压力： 150psig(10barg)最大；20psig（1.4barg）最佳。 气体＆环境温度： 32ºF 到 122ºF（0ºC 到 50ºC）。 防渗漏功能： 最大为 1×10-4 atm cc/sec（氦气）。 820 系列气体质量流量计 SIERRA ASIA INSTRUMENTS COMPANY 100 Jiangnan Dadao, Suite2303 Guangzhou, China Fax: 020-34354872 Tel: 020-34354870 E-mail: Info@sierra-asia.com Rev.: - (0) 0308 E:\Product File\PDS\PDS C \ 820 3 of 5 压降 压降 流量 厘米水柱 100sccm 0.06 1slpm 0.6 10slpm 6.0 20slpm 24.0 30slpm 54.0 40slpm 96.0 50slpm 130.0 电源要求： 12 到 18VDC, 通常 15VDC，最大 100mA 也可选用 24VDC。 输出信号： 线性 0-5VDC，1000Ω最少阻抗。 线性 4-20mA，500Ω最大回路电阻。 显示： 3.5 位数字液晶显示（0.6 寸的高度），可远程安装。 物理规格 材料： 10％玻璃填充的 Nylon®6/6,316 不锈钢，镀镍，“O” 形橡胶密封圈（Viton® “O”-rings），Neoprene® 和 4079 Kal-Rez® “O”型密封圈。 选择： 见所有通过 CE 认证的产品的“价格表”。 尺寸规格 826 系列产品－侧视图 826 系列产品－出口图 826 系列产品－底部图 827 系列产品－侧视图 827 系列产品－出口图 827 系列产品－底部图 所有尺寸均以英寸为单位，折算成毫米后的结果在括号中给出。 性能规格 精度： ±1.5％满度，含线性，在 15ºC 互 25ºC 以及 5 到 60psia(0.3 到 4bara)范围内。 重复性： ±0.5％满度。 温度系数： 0.08％满度每ºF（0.15％满度每ºC），或更好。 820 系列气体质量流量计 SIERRA ASIA INSTRUMENTS COMPANY 100 Jiangnan Dadao, Suite2303 Guangzhou, China Fax: 020-34354872 Tel: 020-34354870 E-mail: Info@sierra-asia.com Rev.: - (0) 0308 E:\Product File\PDS\PDS C \ 820 4 of 5 压力系数： 0.01％满度每 psi（0.15％满度每 bar），或更好。 响应时间： 时间长数 800 毫秒；6秒到最终值的±2％以内（满 度的 25％到 100％）。 操作规格： 气体： 大多数气体；检查与材质的兼容性；订货时具体指 出。 质量流量： 0～75 到 0～175slpm；指定的流量是 76 厘米汞柱、 21ºC（70ºF）下的氮气对应流量范围；用其他单位 表示的流量范围也可提供（即：scfh 或 nm3/h）。 气体压力： 150psig(10barg)最大；20psig（1.4barg）最佳。 压降： 不超过 2 英寸水银柱（流量为 175slpm）。 气体＆环境温度： 32ºF 到 122ºF（0ºC 到 50ºC）。 防渗漏功能： 最大为 1×10-4atm cc/sec(氦气)。 电源要求： 12 到 18VDC，15VDC 最佳，最大 100mA，也可选用 24VDC。 输出信号： 线性 0-5VDC，1000Ω最少阻抗。 线性 4-20mA，500Ω最大回路电阻。 显示： 3．5 位数字液晶显示器（0.6 寸的高度），可远程安 装。 物理规格 材料： 极化铝，316L 不锈钢，镀镍，“O”形橡胶密封圈 （Viton® “O”-rings），Neoprene®和 4079 Kal-Rez® “O”型密封圈。 上游直管段长度要求（以内径的陪数表示） 1/2 英寸内 NPT，最少前直管段 10D 1/2 英寸内 NPT，最小后直管段 5D ®是 Nylon, Viton, Neoprene, Kal-Rez 和 Teflon 的注册商标。 5 of 5 Rev. :-(0) 0308 订购 820、826、827 产品 附件，连接件和电缆咨询厂家。 母体型号 822 Top-TrakTM带显示质量流量计 824 Top-TrakTM质量流量计 826 Top-TrakTM带显示流量计 827 Top-TrakTM流量计 入口/出口安装 13 1/4 英寸 NPT 母螺纹 1 1/8 英寸 压垫式螺纹 2 1/4 英寸 压垫式螺纹 NX 1/2 英寸 NPT 母螺纹（826/827） 弹性体 OV1 Viton ON1 氯丁橡胶 OK1 Kal Rez (822/824) OK2 Kal Rez (826/827) 输入电源 PV1 12 到 15VDC PV2 24VDC 选择 RD（ft） 远传显示（电缆长度单位：英寸） MP 中等压力校准 LF 低流量校准（0-20sccm 或以下的 满度） 气体，流量 输出信号 V1 0-5VDC，线性 V4 4-20mA，线性