超精密加工技术试卷1

一 （每题10分） 1 什么是超精密加工？超精密加工的两个基本原则是什么？ 2 超精密加工机床设计的要求与设计原则是什么？床身设计主要采用何种材料，为什么？ 3 画图说明扫描隧道显微镜（STM）工作的原理？ 4 超精密加工主要控制的环境因素有哪些？说明对超精密车间如何控制粉尘环境。 5 工程陶瓷塑性区磨削的原理是什么？实现的基本条件如何？ 6 画图说明ELID磨削的基本原理，实现该技术应保障的条件是什么？ 7 画图说明外圆磁力研磨的原理？ 8 画图简要说明平面化学机械抛光的原理？说明实现超平坦的技术关键是什么？ 9 画图简要说明LIGA工艺的原理。 10 画图说明什么是柔性铰链，如何利用压电陶瓷驱动实现平面一维微切削进给运动？ 二 要求： （1）必须独立完成；（2）必须手写回答；（3）按顺序回答；（4）封面写好班级学号与名字；（5）开卷考试。