用户需求书 过滤器和气锁的涡轮分子泵、用于镜筒的离子吸气泵 系统控制：带有Windows XP 的WinTEM图像用户界面，用鼠标、键盘和专用控制板来操作 离子减薄机： 离子枪：二个稀

用户需求书 过滤器和气锁的涡轮分子泵、用于镜筒的离子吸气泵 系统控制：带有Windows XP 的WinTEM图像用户界面，用鼠标、键盘和专用控制板来操作 离子减薄机： 离子枪：二个稀 中山大学理工学院高分辨率透射电镜采购项目 中大招(特)〔2011〕378号 用户需求书 货物名称:高分辨率透射电镜 数量: 1套 主要参数: 1、 发射体:肖特基场发射系统 2、 加速电压: 80 kV ,200 kV可调 3、 空间分辨率 HR(高分辨率) HT(高倾斜) (1) 点分辨率 0.24 nm(HR); 0.29 nm( HT) (2) 信息极限 0.14 nm(HR); 0.19 nm( HT) (3) STEM 分辨率 0.30 nm(HR); 0.45 nm( HT) 4、 能量分辨率:? 0.7 eV 5、 校正式 OMEGA 过滤器参数 (1) 色散:1.85 μm/eV @ 200 kV (2) 畸变:< 1.5 % (3) 放大系数:1(过滤器没有放大) (4) 电路:4 块磁铁和7 个多极校正器 (5) 探测器: 4k x 4k 慢扫描CCD 照相机 (6) 接收角:> 100 mrad @ ΔE = 10 eV 狭缝宽度和200kV (7) 150 mrad @ ΔE = 20 eV 狭缝宽度和200kV (8) 透过率:190 nm? @ ΔE = 1 eV 狭缝宽度和200kV (9) 等色性:< 0.5 eV 在样品上视场超过Ø 2.5 m 6、 样品台:5 轴完全优中心测角器 倾斜角: α / β ? 30? / ? 30? (HR 极片) α / β ? 70? / ? 30? (HT 极片) 二者都是双倾斜样品座 α ? 70? (HR 极片) 带有专用的层面样品夹 中山大学理工学院高分辨率透射电镜采购项目 中大招(特)〔2011〕378号 7、 成像系统:在能量过滤器的前面和后面有两组3 透镜投影镜 8、 放大倍数: TEM :8 X ~ 1,000,000 X(对于HR 极片) STEM :2,000 X ~ 5,000,000 X EELS :20 X ~ 315 X(谱线放大倍数) 9、 真空系统:无油和分级抽空的真空系统，包括具有缓冲罐的前级真空涡旋泵、 用于观察室、过滤器和气锁的涡轮分子泵、用于镜筒的离子吸气泵 10、 系统控制:带有Windows? XP 的WinTEM?图像用户界面，用鼠标、键 盘和专用控制板来操作 11、 离子减薄机: (1) 离子枪:二个稀土磁铁潘宁离子枪 (2) Milling角:+10? , -10?，两个枪可以单独调整 (3) 离子束能量:100eV , 6.0keV (4) 离子束直径:350 μm FWHM @ 5keV 800 μm FWHM@ 5keV(宽离子束枪) 2(5) 离子电流密度:10mA/cm 峰值