废水处理系统和方...-审定授权
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SooPAT
废水处理系统和方法
申请号:200710037681.9
申请日:2007-02-13
申请(专利权)人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址 201203上海市浦东新区张江路18号
发明(设计)人 林信才 彭云新 刘江 冯均
主分类号 C02F1/00(2006.01)I
分类号 C02F1/00(2006.01)I B01D36/00(2006.01)I
公开(公告)号 101244847
公开(公告)日...
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SooPAT
废水处理系统和方法
申请号:200710037681.9
申请日:2007-02-13
申请(专利权)人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址 201203上海市浦东新区张江路18号
发明(
)人 林信才 彭云新 刘江 冯均
主分类号 C02F1/00(2006.01)I
分类号 C02F1/00(2006.01)I B01D36/00(2006.01)I
公开(公告)号 101244847
公开(公告)日 2008-08-20
专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 李文红
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