硅片黑点汇报

null硅片面黑点汇报硅片表面黑点汇报廖经理、史海辉、陈月琴、顾蓓 2010.07.04目录目录一：问题描述 二：数据统计分析 三：电子能谱图检测 四：可能原因分析 五：后续工作计划 六：结束语问题描述问题描述 硅片表面的黑点比例占10%点左右，严重的占3% 1.因硅片表面有黑点，员工需逐一地分选，挑出黑点；分选仪无法分选出黑点，需人工再次复检，影响产能 2.因硅片表面质量不达标（黑点），我们加工的产品堆积在仓库黑点数据统计分析黑点数据统计分析小晶锭来料检验数据小晶锭来料检验数据7月份小晶锭来料检验如下：电子能谱图检测电子能谱图检测谱图处理 : 没有被忽略的峰 处理选项 : 所有经过分析的元素 (已归一化) 重复次数 = 3 标准样品 : C CaCO3 22.06.2010.12:00 AM Si SiO2 22.06.2010.12:00 AM 注释：硅片上年黑点的主要成分是Si C Si的纯度是99.9999%，但是检测值只有81.54%电子能谱图检测电子能谱图检测谱图处理 : 没有被忽略的峰 处理选项 : 所有经过分析的元素 (已归一化) 重复次数 = 4 标准样品 : C CaCO3 22.06.2010.12:00 AM O SiO2 22.06.2010.12:00 AM Si SiO2 22.06.2010. 12:00 AM 注释：硅片上年黑点的主要成分是Si C O Si的纯度要求是99.9999%，但是检测值只有83.46%电子能谱图检测电子能谱图检测谱图处理 : 没有被忽略的峰 处理选项 : 所有经过分析的元素 (已归一化) 重复次数 = 3 标准样品 : C CaCO3 22.06.2010.12:00 AM Si SiO2 22.06.2010.12:00 AM 元素重量原子 百分比百分比C K18.4234.55Si K81.5865.45总量100.00注释：硅片上年黑点的主要成分是Si C Si的纯度要求是99.9999%，但是检测值只有81.54%null 谢 谢！