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双室真空电阻化学气相沉积炉安全操作规程

2017-12-24 4页 doc 14KB 157阅读

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双室真空电阻化学气相沉积炉安全操作规程双室真空电阻化学气相沉积炉安全操作规程 双室真空电阻化学气相沉积炉操作规程 双室真空电阻化学气相沉积炉主要用于大型c/c复合材料制品的气相沉积,采用电阻带并绕制成波纹状分多个区加热,许用温度1060?,程序升温,采用一拖二或一拖三组合控温系统自动控温,多个热电偶测温,通有氮气、丙烯、天然气等气体,为确保炉子正常安全运行,特作如下规定: 一(开炉前检查 1.按“用电操作规程”对电器仪表等系统进行检查,按“机械泵操作规程”对真空系统进行检查,按“用水操作规程”对供水系统进行检查,所用气体按“气体安全操作规程”供气. 2.打...
双室真空电阻化学气相沉积炉安全操作规程
双室真空电阻化学气相沉积炉安全 双室真空电阻化学气相沉积炉操作规程 双室真空电阻化学气相沉积炉主要用于大型c/c复合材料制品的气相沉积,采用电阻带并绕制成波纹状分多个区加热,许用温度1060?,程序升温,采用一拖二或一拖三组合控温系统自动控温,多个热电偶测温,通有氮气、丙烯、天然气等气体,为确保炉子正常安全运行,特作如下: 一(开炉前检查 1.按“用电操作规程”对电器仪表等系统进行检查,按“机械泵操作规程”对真空系统进行检查,按“用水操作规程”对供水系统进行检查,所用气体按“气体安全操作规程”供气. 2.打开循环水阀,压力显示0.2Mpa左右,开启各水路阀门,检查进出水管是否畅通,如炉盖 、炉内罐、炉外罐、真空泵、冷凝器、冷凝罐、电极等冷水管水流是否畅通,如果管路堵塞或电极处水管脱落,须检修后才能升温。 3.合上控制电源开关,开启控制柜仪器仪表电源,检查仪器仪表显示是否正常。 4.启动机械泵,打开手动阀,对内、外室进行抽真空,(抽真空过程中当内、外室压差较大时,控制面板显示压差报警,当压差降到一定范围内按下解除报警即消除)测试压升率,1小时500Mpa以内方可开炉,不合格时,检查各连接部位是否漏气,(可对内、外室分开检测压升率)直到合格后开 炉升温。 二(开炉操作 1.各项检查符合后,将工艺单上的升温程序输入主控温仪表(FP23),由另外当班人员校核无误后送电升温。升温顺序为:a.开启变压器冷风机温控电源开关,b.合上系统柜电动空气开关给变压器送电,电压表显示为90v加热电压。C.依次操作各个温控柜投入运行:转动控制电源开关,按空开合闸按钮,合上温控柜内电动空气开关,再操作加热启动开关。(停炉时按相反顺序进行操作) 2.主控温度及监控温度达到工艺要求后,按工艺要求开始送气,运行过程中严格执行工艺要求,严格按操作规程安全操作,出现炉压、膛压上升超压或气体流量显示不稳定应及时做相应处理,并做好记录。 3.在整个温控过程中,无纸记录仪对炉温、压力、流量进行记录,以备查阅。当炉温、炉压高于报警设定值,水温高于规定值,水压低于规定值、过流、缺相、程序结束时会发出声光报警信号,同时切断脉冲回路,停止向加热器供电,防止或避免“超温”失控现象发生,并按下系统柜仪表板上的警声解除按钮。 三(停,出炉操作 1.程序运行完毕,仪表复位,关闭各控制柜的空气开关,停 止加热电源。关闭氮气,丙烯或天然气阀门,继续抽真空。 2.停机械泵,打开氮气阀向炉内充氮气至常压,炉子在缓慢降温过程中应多次向炉内、外室补充氮气至常压,直到炉温冷却到300?以下。 3.快速冷却,当炉温降至300?以下时,卸下外室冷却管路的挡板,开启风机进行快速降温,直到炉温降至常温。 4.当炉温降至常温后,将炉盖吊另处放稳,按顺序将炉膛内的产品吊出,并做好产品编号,检验。 注意事项: 1.冷态时,抽真空时,发现内外室压差过大,应及时检查内外室连通阀是否开启,如未开,在高温状态时,造成内室挤压变形,严重时开裂,氧化产品. 2.内、外室连通的阀门只有在急速冷却时或需要对内、外室分开测压升率时关闭,其余时间必须全部打开。 3.在运行中,需要中途停炉检修,对炉内充氮气过程中,操作人员必须守候现场,随时观察炉内压力变化,当压力充至微正压时,停止充气。如果充气压力过高,可能造成严重后果,如将炉盖顶出,氧化产品。如果炉盖螺栓拧紧,也可能造成炉盖爆炸飞出,伤及人身安全。 4.在设备整个运行过程中,应经常性检查冷却水管是否畅通,炉子底坑有无积水,如积水超过炉底位置,及时用水泵抽出。 5.室温温度较高时,变压器温度控制冷却风机和系统柜冷却风机必须开启。 双室炉培训 1.讲解炉子整个操作过程。(见操作规程) 2.了解整个双室炉的基本结构。(见图) 炉体系统、电控系统、供气系统、真空系统、冷却系统。 3.了解化学气相沉积炉是怎样增密。 氮气和丙烯(天然气)混合气体通入炉内后,在额定温度和压力下,丙烯(天然气)裂解出的碳成分在产品(碳毡或碳碳复合材料)表面及通过产品内孔间隙不断进行沉积生长,使产品密度逐步提高。 4.压升率不合格处理。 检查各连接口密封处,手动阀是否密闭不严,可分开对内、外室检查压升率。 5.超压怎么处理。 检查每台真空泵的抽力是否满足要求,不满足应及时更换。过滤器、压差阀、手动阀是否堵塞,仪表显示是否正确。 6.出现停电、停水处理方法。 应立即打开高位槽水阀送水,或者自行发电开启增压水泵(由电工班负责),关闭真空泵手动阀,停电时间长的话应由外室充入氮气至炉内常压,特别注意,开始充氮气时应将以较小气量供应,5分钟后,方可以较大气量供应。 7.出现仪表流量显示不正常及电器故障怎么办, 先停气保温或停炉然后通知电工进行调试、更换、维修。 8.出现冷却水管断水脱落,炉子地坑积水怎么处理, 发现冷却水管断水脱落应马上停电检修,待冷却水通畅后才能继续送电升温,若不及时发现和处理,很可能烧坏电极和密封件,引发设备重大事故、外室漏气和产品在高温下氧化。炉子地坑积水,一般是因冷却水管泄露、接头脱落、地坑壁渗水等因素造成地坑积水,水位升高到淹没电极和热电偶时,将影响炉子正常安全运行,一经发现,应立即抽水。如果水位超过电极位置,还应停炉。 9.紧急情况处理
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