第一节
第二节
第三节
第四节
电容传感器测量电路
电容传感器分类
电容传感器原理
电容传感器应用
学习
学习要求
1.掌握电容式传感器工作原理
2.掌握电容式传感器的分类、及 它们各自的特点
3.了解电容式传感器的测量电路
概 述
电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容变化量的一种传感器。实际上,它本身(或和被测物)就是一个可变电容器。
我们先来看个例子,来体会一下将非电量转化为电容值的变化。
实例:指纹识别传感器
图为IBM ThinkpadT42/T43
的指纹识别传感器
2005年5月10 日
电容式指纹识别传感器
指纹识别所需电容传感器包含一个大约有数万个金属导体的阵列,其外面是一层绝缘的
面。当用户的手指放在上面时,金属导体阵列/绝缘物/皮肤就构成了相应的小电容器阵列。它们的电容值随着脊(近的)和沟(远的)与金属导体之间的距离不同而变化。
电容式指纹识别传感器
电容式指纹传感器有单触型和划擦型两种,是目前最新型的固态指纹传感器,它们都是通过在触摸过程中电容的变化来进行信息采集。
这两类电容式指纹传感器的工作原理为:当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时,电容会有所增加,通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米,间隔为50微米,电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺,并采用0.5微米工艺进行设计。
金属互连的第三层构成电容像素层,由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅,厚度仅为7000埃米。这种硬金属电极与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用,使用寿命可以达到很多年。它们的用途主要有:
1 指纹检测
人类的指纹由紧密相邻的凹凸纹路构成,通过对每个像素点上利用标准参考放电电流,便可检测到指纹的纹路状况。每个像素先预充电到某一参考电压,然后由参考电流放电。电容阳极上电压的改变率与其上的电容成下面的比例关系:
Iref=C×dv/dt (3-3-1)
处于指纹的凸起下的像素(电容量高)放电较慢,而处于指纹的凹处下的像素(电容量低)放电较快。这种不同的放电率可通过采样保持(S/H)电路检测并转换成一个8位输出,这种检测方法对指纹凸起和低凹具有较高的敏感性,并可形成非常好的原始指纹图像。
采用复杂的软件算法可以进行指纹识别。这种软件采集原始的指纹图像,将图像信息数字化并提取其中的细节模板,然后进行测试,确定提取的细节模板是否与参考模板吻合。 单触型传感器与划擦型传感器的尺寸和成本都不一样。接触式传感器较大,通常有效接触面为15×15mm,可迅速地采集最大的指纹或拇指指纹。这种传感器易于使用,并可将整个指纹图像以500dpi(自动指纹识别标准)的精度进行快速传输。
这种传感器由256(列)×300(行)微型金属电极组成,每一列连接到一对S/H电路上。指纹图像依次逐行采集,每个金属电极均作为电容的一个极,与之接触的手指则是电容的另一个极。在器件表面有一层钝化层,作为两个电容极间的电介质层。将手指置于传感器上时,指纹上的凸起和低凹会在阵列上产生不同的电容值,并构成用于认证的一整幅图像。
划擦型传感器是一种新型指纹采集器件,要求用户将手指在器件上划过。划擦型传感器的优点是尺寸小(如富士通的MBF300尺寸仅为3.6×13.3 mm2)和成本低。这些器件主要用于移动设备的嵌入式安全识别应用,如手机和PDA。精密的图像重建软件以接近2000帧/秒的速度快速地从传感器上采集多个图像,并将每个帧的数据细节组织到一起。
2 信息及认证
毫无疑问,便携式低成本指纹识别技术对我们的生活意义深远。例如,今后警察可在一个犯罪高发区截住一名嫌疑人,要求其提供指纹而不是身份证或汽车驾照。此人则将其右手的第一、二或第三个手指置于一个与无线PDA相连的传感器上,可以迅速将嫌疑人与以前的犯罪记录进行对比确认。
这种识别技术对于被盗的手机用户也有好处。手机开机时要求用户通过一个快速的认证过程,用户将其手指划过传感器,如果通过认证则授权使用手机的各项功能。如果不是授权用户,手机便继续保持锁住。如果连续几次认证无法通过,则手机会删除存储器中的关键信息然后关机。
在今后的汽车应用中,用户可输入家庭成员指纹样本,经鉴权才能驾驶。注册过程十分简单:每个授权驾驶的成员将其手指置于传感器上,并将汽车的各种参数按个人爱好进行设置,然后将这些设置存入车载的电脑存储器中。
当驾驶者进入汽车时,他/她将手指置于传感器上,启动识别过程。不到一秒钟,电脑将检测到的指纹模板与存储的模板进行比较,并建立一个与驾驶者相符的相关设置。指纹模板和匹配软件保存在汽车内的一个嵌入式模块中。当指纹匹配成功时,汽车便按已编程设定的内部参数来控制后视镜、汽车座椅、无线基站以及车内空气环境。此外,还可控制驾驶速度,如果驾驶者仅为十来岁的孩子,则将速度限制在每小时55公里。目前这些传感器已完成设计,并用于美国政府机构及警察局进行指纹识别。不久的将来还将逐渐用于汽车单触式无钥匙进入系统,以及信息安全中。
当然,电容式传感器的应用领域远不止以上所列举的几个方面,其结构类型也不胜枚举,它在检测及控制中的应用是十分广泛。
指纹识别目前最常用的是电容式传感器,也被称为第二代指纹识别系统。
下图为指纹经过处
理后的成像图:
优点:体积小、成本低、成像精度高、耗电量很小,因此非常适合在消费类电子产品中使用。
电容式指纹识别传感器
电容式指纹传感器有单触型和划擦型两种,是目前最新型的固态指纹传感器,它们都是通过在触摸过程中电容的变化来进行信息采集。
这两类电容式指纹传感器的工作原理为:当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时,电容会有所增加,通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米,间隔为50微米,电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺,并采用0.5微米工艺进行设计。
金属互连的第三层构成电容像素层,由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅,厚度仅为7000埃米。这种硬金属电极与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用,使用寿命可以达到很多年。它们的用途主要有:
1 指纹检测
人类的指纹由紧密相邻的凹凸纹路构成,通过对每个像素点上利用标准参考放电电流,便可检测到指纹的纹路状况。每个像素先预充电到某一参考电压,然后由参考电流放电。电容阳极上电压的改变率与其上的电容成下面的比例关系:
Iref=C×dv/dt (3-3-1)
处于指纹的凸起下的像素(电容量高)放电较慢,而处于指纹的凹处下的像素(电容量低)放电较快。这种不同的放电率可通过采样保持(S/H)电路检测并转换成一个8位输出,这种检测方法对指纹凸起和低凹具有较高的敏感性,并可形成非常好的原始指纹图像。
采用复杂的软件算法可以进行指纹识别。这种软件采集原始的指纹图像,将图像信息数字化并提取其中的细节模板,然后进行测试,确定提取的细节模板是否与参考模板吻合。 单触型传感器与划擦型传感器的尺寸和成本都不一样。接触式传感器较大,通常有效接触面为15×15mm,可迅速地采集最大的指纹或拇指指纹。这种传感器易于使用,并可将整个指纹图像以500dpi(自动指纹识别标准)的精度进行快速传输。
这种传感器由256(列)×300(行)微型金属电极组成,每一列连接到一对S/H电路上。指纹图像依次逐行采集,每个金属电极均作为电容的一个极,与之接触的手指则是电容的另一个极。在器件表面有一层钝化层,作为两个电容极间的电介质层。将手指置于传感器上时,指纹上的凸起和低凹会在阵列上产生不同的电容值,并构成用于认证的一整幅图像。
划擦型传感器是一种新型指纹采集器件,要求用户将手指在器件上划过。划擦型传感器的优点是尺寸小(如富士通的MBF300尺寸仅为3.6×13.3 mm2)和成本低。这些器件主要用于移动设备的嵌入式安全识别应用,如手机和PDA。精密的图像重建软件以接近2000帧/秒的速度快速地从传感器上采集多个图像,并将每个帧的数据细节组织到一起。
2 信息及认证
毫无疑问,便携式低成本指纹识别技术对我们的生活意义深远。例如,今后警察可在一个犯罪高发区截住一名嫌疑人,要求其提供指纹而不是身份证或汽车驾照。此人则将其右手的第一、二或第三个手指置于一个与无线PDA相连的传感器上,可以迅速将嫌疑人与以前的犯罪记录进行对比确认。
这种识别技术对于被盗的手机用户也有好处。手机开机时要求用户通过一个快速的认证过程,用户将其手指划过传感器,如果通过认证则授权使用手机的各项功能。如果不是授权用户,手机便继续保持锁住。如果连续几次认证无法通过,则手机会删除存储器中的关键信息然后关机。
在今后的汽车应用中,用户可输入家庭成员指纹样本,经鉴权才能驾驶。注册过程十分简单:每个授权驾驶的成员将其手指置于传感器上,并将汽车的各种参数按个人爱好进行设置,然后将这些设置存入车载的电脑存储器中。
当驾驶者进入汽车时,他/她将手指置于传感器上,启动识别过程。不到一秒钟,电脑将检测到的指纹模板与存储的模板进行比较,并建立一个与驾驶者相符的相关设置。指纹模板和匹配软件保存在汽车内的一个嵌入式模块中。当指纹匹配成功时,汽车便按已编程设定的内部参数来控制后视镜、汽车座椅、无线基站以及车内空气环境。此外,还可控制驾驶速度,如果驾驶者仅为十来岁的孩子,则将速度限制在每小时55公里。目前这些传感器已完成设计,并用于美国政府机构及警察局进行指纹识别。不久的将来还将逐渐用于汽车单触式无钥匙进入系统,以及信息安全中。
当然,电容式传感器的应用领域远不止以上所列举的几个方面,其结构类型也不胜枚举,它在检测及控制中的应用是十分广泛。
4.1 电容式传感器原理及类型
平行板电容器的电容为:
上式中,哪几个参量是变量?可以做成哪几种类型的电容传感器?
4.1.1 工作原理
ε*
4.1.2 电容传感器分类
根据其改变参数不同,可将电容式传感器分为下三种:
改变极板间距离(d)的变极距型传感器
改变极板遮盖面积( S )的变面积型传感器
改变介质介电常数(ε)的变介电常数型传感器
电容传感器分类结构图如下
一、变极距型电容传感器
当传感器的ε和S为常数,初始极距为d 时,由式(4-1)可知其初始电容量C0为
极距式电容传感器
若电容器极板间距离由初始值d缩小Δd, 电容量增大ΔC, 则有
(4-2)
一、变极距型电容传感器
一、变极距型电容传感器
由式(4-2)可知, ΔC与Δd不是线性关系。但当△d<<d时,可以认为ΔC-Δd是线性的, 所以变极距型电容式感器一般用来测量微小变化的量。
传感器灵敏度:
(4-3)
一、变极距型电容传感器
另外, 由式(4 - 3)可以看出, 在d较小时, 对于同样的Δd变化所引起的ΔC增大C0 /d的倍数, 从而使传感器灵敏度提高。
但d 过小, 容易引起电容器击穿或短路。
为此, 极板间可采用高介电常数的材料(云母、塑料膜等)作介质
为提高灵敏度和改善非线性,一般采用差动结构。
二、变面积型电容式传感器
改变极板间覆盖面积的电容式传感器,
常用的有角位移型和线位移型两种。
图为典型的角位移型电容式传感器
当动板有一转角时,与定板之间相互覆盖的面积就发生变化,因而导致电容量变化。
wywshn (w) -
二、变面积型电容式传感器
二、变面积型电容式传感器
线位移型电容式传感器
平面线位移型和圆柱线位移型两种。
二、变面积型电容式传感器
对于圆柱线位移型电容式传感器,当覆盖长度h变化时,电容量也随之变化
其电容为:
二、变面积型电容式传感器
对于电容间覆盖面积由S变为S′时,则电容变化量
为:
由上式可见,电容的变化量与面积的变化量成线性关系。
三、 变介电常数型电容传感器
变介电常数型电容传感器的结构原理如图所示
这种传感器大多用于测量电介质的厚度(图a)、位移(图b)、液位(图c)
还可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量改变而改变来测量温度、湿度、容量(图d)等。
式中
δ、h 、ε0——两固定极板间的距离、极间高度及间隙中电介质的介电常数
δx、hx 、ε——被测物的厚度、被测液面高度和它的介电常数
a、b 、 l x——固定极板长、宽及被测物进入两极板中的长度(被测值)
r1、r2——内、外极筒的工作半径
若忽略边缘效应,图a 、图b 、图c所示传感器的电容量与被测量的关系为:
图b中:
图c中:
图a中:
三、变介质型电容式传感器
ε:液体介质的介电常数
ε0:空气的介电常数;
h :电极板的总长度;
r1、r2:电极板的内、外径;
液面高度为0时,电容量为:
当液面高度不为0时,电容量为:
4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性
变极距型(变间距型)电容传感器
当传感器的ε和S为常数, 初始极距为d0时, 可知其初始电容量C0为
当 增量 时
电容C增量
2005年5月10 日
电容式指纹识别传感器
电容式指纹传感器有单触型和划擦型两种,是目前最新型的固态指纹传感器,它们都是通过在触摸过程中电容的变化来进行信息采集。
这两类电容式指纹传感器的工作原理为:当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时,电容会有所增加,通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米,间隔为50微米,电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺,并采用0.5微米工艺进行设计。
金属互连的第三层构成电容像素层,由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅,厚度仅为7000埃米。这种硬金属电极与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用,使用寿命可以达到很多年。它们的用途主要有:
1 指纹检测
人类的指纹由紧密相邻的凹凸纹路构成,通过对每个像素点上利用标准参考放电电流,便可检测到指纹的纹路状况。每个像素先预充电到某一参考电压,然后由参考电流放电。电容阳极上电压的改变率与其上的电容成下面的比例关系:
Iref=C×dv/dt (3-3-1)
处于指纹的凸起下的像素(电容量高)放电较慢,而处于指纹的凹处下的像素(电容量低)放电较快。这种不同的放电率可通过采样保持(S/H)电路检测并转换成一个8位输出,这种检测方法对指纹凸起和低凹具有较高的敏感性,并可形成非常好的原始指纹图像。
采用复杂的软件算法可以进行指纹识别。这种软件采集原始的指纹图像,将图像信息数字化并提取其中的细节模板,然后进行测试,确定提取的细节模板是否与参考模板吻合。 单触型传感器与划擦型传感器的尺寸和成本都不一样。接触式传感器较大,通常有效接触面为15×15mm,可迅速地采集最大的指纹或拇指指纹。这种传感器易于使用,并可将整个指纹图像以500dpi(自动指纹识别标准)的精度进行快速传输。
这种传感器由256(列)×300(行)微型金属电极组成,每一列连接到一对S/H电路上。指纹图像依次逐行采集,每个金属电极均作为电容的一个极,与之接触的手指则是电容的另一个极。在器件表面有一层钝化层,作为两个电容极间的电介质层。将手指置于传感器上时,指纹上的凸起和低凹会在阵列上产生不同的电容值,并构成用于认证的一整幅图像。
划擦型传感器是一种新型指纹采集器件,要求用户将手指在器件上划过。划擦型传感器的优点是尺寸小(如富士通的MBF300尺寸仅为3.6×13.3 mm2)和成本低。这些器件主要用于移动设备的嵌入式安全识别应用,如手机和PDA。精密的图像重建软件以接近2000帧/秒的速度快速地从传感器上采集多个图像,并将每个帧的数据细节组织到一起。
2 信息及认证
毫无疑问,便携式低成本指纹识别技术对我们的生活意义深远。例如,今后警察可在一个犯罪高发区截住一名嫌疑人,要求其提供指纹而不是身份证或汽车驾照。此人则将其右手的第一、二或第三个手指置于一个与无线PDA相连的传感器上,可以迅速将嫌疑人与以前的犯罪记录进行对比确认。
这种识别技术对于被盗的手机用户也有好处。手机开机时要求用户通过一个快速的认证过程,用户将其手指划过传感器,如果通过认证则授权使用手机的各项功能。如果不是授权用户,手机便继续保持锁住。如果连续几次认证无法通过,则手机会删除存储器中的关键信息然后关机。
在今后的汽车应用中,用户可输入家庭成员指纹样本,经鉴权才能驾驶。注册过程十分简单:每个授权驾驶的成员将其手指置于传感器上,并将汽车的各种参数按个人爱好进行设置,然后将这些设置存入车载的电脑存储器中。
当驾驶者进入汽车时,他/她将手指置于传感器上,启动识别过程。不到一秒钟,电脑将检测到的指纹模板与存储的模板进行比较,并建立一个与驾驶者相符的相关设置。指纹模板和匹配软件保存在汽车内的一个嵌入式模块中。当指纹匹配成功时,汽车便按已编程设定的内部参数来控制后视镜、汽车座椅、无线基站以及车内空气环境。此外,还可控制驾驶速度,如果驾驶者仅为十来岁的孩子,则将速度限制在每小时55公里。目前这些传感器已完成设计,并用于美国政府机构及警察局进行指纹识别。不久的将来还将逐渐用于汽车单触式无钥匙进入系统,以及信息安全中。
当然,电容式传感器的应用领域远不止以上所列举的几个方面,其结构类型也不胜枚举,它在检测及控制中的应用是十分广泛。
电容式指纹识别传感器
电容式指纹传感器有单触型和划擦型两种,是目前最新型的固态指纹传感器,它们都是通过在触摸过程中电容的变化来进行信息采集。
这两类电容式指纹传感器的工作原理为:当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时,电容会有所增加,通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米,间隔为50微米,电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺,并采用0.5微米工艺进行设计。
金属互连的第三层构成电容像素层,由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅,厚度仅为7000埃米。这种硬金属电极与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用,使用寿命可以达到很多年。它们的用途主要有:
1 指纹检测
人类的指纹由紧密相邻的凹凸纹路构成,通过对每个像素点上利用标准参考放电电流,便可检测到指纹的纹路状况。每个像素先预充电到某一参考电压,然后由参考电流放电。电容阳极上电压的改变率与其上的电容成下面的比例关系:
Iref=C×dv/dt (3-3-1)
处于指纹的凸起下的像素(电容量高)放电较慢,而处于指纹的凹处下的像素(电容量低)放电较快。这种不同的放电率可通过采样保持(S/H)电路检测并转换成一个8位输出,这种检测方法对指纹凸起和低凹具有较高的敏感性,并可形成非常好的原始指纹图像。
采用复杂的软件算法可以进行指纹识别。这种软件采集原始的指纹图像,将图像信息数字化并提取其中的细节模板,然后进行测试,确定提取的细节模板是否与参考模板吻合。 单触型传感器与划擦型传感器的尺寸和成本都不一样。接触式传感器较大,通常有效接触面为15×15mm,可迅速地采集最大的指纹或拇指指纹。这种传感器易于使用,并可将整个指纹图像以500dpi(自动指纹识别标准)的精度进行快速传输。
这种传感器由256(列)×300(行)微型金属电极组成,每一列连接到一对S/H电路上。指纹图像依次逐行采集,每个金属电极均作为电容的一个极,与之接触的手指则是电容的另一个极。在器件表面有一层钝化层,作为两个电容极间的电介质层。将手指置于传感器上时,指纹上的凸起和低凹会在阵列上产生不同的电容值,并构成用于认证的一整幅图像。
划擦型传感器是一种新型指纹采集器件,要求用户将手指在器件上划过。划擦型传感器的优点是尺寸小(如富士通的MBF300尺寸仅为3.6×13.3 mm2)和成本低。这些器件主要用于移动设备的嵌入式安全识别应用,如手机和PDA。精密的图像重建软件以接近2000帧/秒的速度快速地从传感器上采集多个图像,并将每个帧的数据细节组织到一起。
2 信息及认证
毫无疑问,便携式低成本指纹识别技术对我们的生活意义深远。例如,今后警察可在一个犯罪高发区截住一名嫌疑人,要求其提供指纹而不是身份证或汽车驾照。此人则将其右手的第一、二或第三个手指置于一个与无线PDA相连的传感器上,可以迅速将嫌疑人与以前的犯罪记录进行对比确认。
这种识别技术对于被盗的手机用户也有好处。手机开机时要求用户通过一个快速的认证过程,用户将其手指划过传感器,如果通过认证则授权使用手机的各项功能。如果不是授权用户,手机便继续保持锁住。如果连续几次认证无法通过,则手机会删除存储器中的关键信息然后关机。
在今后的汽车应用中,用户可输入家庭成员指纹样本,经鉴权才能驾驶。注册过程十分简单:每个授权驾驶的成员将其手指置于传感器上,并将汽车的各种参数按个人爱好进行设置,然后将这些设置存入车载的电脑存储器中。
当驾驶者进入汽车时,他/她将手指置于传感器上,启动识别过程。不到一秒钟,电脑将检测到的指纹模板与存储的模板进行比较,并建立一个与驾驶者相符的相关设置。指纹模板和匹配软件保存在汽车内的一个嵌入式模块中。当指纹匹配成功时,汽车便按已编程设定的内部参数来控制后视镜、汽车座椅、无线基站以及车内空气环境。此外,还可控制驾驶速度,如果驾驶者仅为十来岁的孩子,则将速度限制在每小时55公里。目前这些传感器已完成设计,并用于美国政府机构及警察局进行指纹识别。不久的将来还将逐渐用于汽车单触式无钥匙进入系统,以及信息安全中。
当然,电容式传感器的应用领域远不止以上所列举的几个方面,其结构类型也不胜枚举,它在检测及控制中的应用是十分广泛。
ε*